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簡(jiǎn)要描述：元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置常見(jiàn)故障知識(shí)說(shuō)明
產(chǎn)品型號(hào)：AES-4535廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-01-13訪 問(wèn) 量：3023| 品牌 | LNEYA/無(wú)錫冠亞 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
| 儀器種類 | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置常見(jiàn)故障知識(shí)說(shuō)明
光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置常見(jiàn)故障知識(shí)說(shuō)明
1、制冷壓縮機(jī)內(nèi)無(wú)敲擊聲，壓縮機(jī)正常運(yùn)轉(zhuǎn)，膨脹閥開(kāi)度調(diào)節(jié)合適，運(yùn)轉(zhuǎn)中只有壓縮機(jī)吸、排氣聲，不產(chǎn)生敲擊或其它不正常聲響。
2、壓縮機(jī)各摩擦部位溫度正常，無(wú)激熱現(xiàn)象。壓縮機(jī)各摩擦部位、軸承與軸頸接觸良好，潤(rùn)滑正常，不產(chǎn)生超過(guò)環(huán)境溫度。
3、曲軸箱油面處在正常位置，一般壓縮機(jī)曲軸箱正常油面應(yīng)在視油鏡中間位置。如果是兩個(gè)油鏡，則正常油面應(yīng)在上油鏡的水平線上，但低不得低于下油鏡水平線或見(jiàn)不到油位。另外，在壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中滑油不應(yīng)起泡。
4、油壓過(guò)低會(huì)造成各摩部件表面的干摩或卸載一能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)動(dòng)作遲緩；油壓過(guò)高不但易損壞油泵軸、鍵及傳動(dòng)件，而且會(huì)使各摩擦面之間進(jìn)油過(guò)多，增加摩擦阻力。。
5、壓縮機(jī)無(wú)結(jié)霜現(xiàn)象，制冷系統(tǒng)工作過(guò)程中，壓縮機(jī)回氣管路結(jié)霜應(yīng)屬正常現(xiàn)象，但當(dāng)操作不良或膨脹閥調(diào)整不當(dāng)時(shí)，往往會(huì)造成壓縮機(jī)氣缸壁和機(jī)體結(jié)霜，嚴(yán)重時(shí)可能造成壓縮機(jī)“液擊”。
6、光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)各輔助設(shè)備處于正常工作狀態(tài)，膨脹閥開(kāi)度適當(dāng)；各風(fēng)機(jī)及電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)；水循環(huán)系統(tǒng)的水泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常，無(wú)異常聲響；水循環(huán)管路及各連接處無(wú)嚴(yán)重漏水現(xiàn)象；更重要的是制冷系統(tǒng)所有設(shè)備連接管路不允許有制冷劑泄漏現(xiàn)象。
7、光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)所有壓力及溫度指示正確，壓力表、溫度表指針?lè)€(wěn)定；高、低油壓控制器調(diào)整適當(dāng)，在所要求之壓力數(shù)值范圍內(nèi)能起到自動(dòng)控制和保護(hù)作用。
8、制冷系統(tǒng)正常工作時(shí)，其冷凝壓力與冷凝溫度，蒸發(fā)壓力與蒸發(fā)溫度呈對(duì)應(yīng)關(guān)系。
